chida ichi utenga sanali kukhudzana, kuwala gawo-kusintha interferometric kuyeza njira, sikuwononga pamwamba workpiece pa muyeso, akhoza mwamsanga kuyeza azithunzi atatu azithunzi a pamwamba micro-topography zosiyanasiyana workpieces, kusanthula ndi kuwerengera muyeso. zotsatira.
Mafotokozedwe Akatundu
Mawonekedwe: Oyenera kuyeza kuuma kwapamwamba kwa midadada yosiyanasiyana ya geji ndi mbali zowoneka; kuya kwa reticle wa wolamulira ndi dial; makulidwe a ❖ kuyanika kwa kamangidwe ka grating groove ndi kapangidwe ka morphology ya malire opaka; pamwamba pa maginito (optical) disk ndi maginito mutu Mapangidwe muyeso; silicon wafer pamwamba roughness ndi chitsanzo kapangidwe muyeso, etc.
Chifukwa cha kuyeza kwakukulu kwa chipangizocho, chimakhala ndi mawonekedwe osalumikizana ndi miyeso yamitundu itatu, ndikutengera kuwongolera makompyuta ndikuwunika mwachangu ndikuwerengera zotsatira zoyezera. Chida ichi ndi choyenera pamagulu onse oyesa ndi kuyeza kafukufuku wamagulu, zipinda zoyezera zamakampani ndi migodi, zokambirana zokonzekera bwino, komanso zoyenera ku Mabungwe a maphunziro apamwamba ndi kafukufuku wa sayansi, ndi zina zotero.
Waukulu luso magawo
Kuyeza kuchuluka kwa kuya kwa kusafanana kwapang'onopang'ono
Pamwamba mosalekeza, pamene palibe kutalika kwadzidzidzi kusintha kwakukulu kuposa 1/4 wavelength pakati pa ma pixel awiri oyandikana: 1000-1nm
Pakakhala masinthidwe aatali kuposa 1/4 ya kutalika kwa mafunde pakati pa ma pixel oyandikana: 130-1nm
Kubwereza kwa muyeso: δRa ≤0.5nm
Kukula kwa lens: 40X
Khomo la manambala: Φ 65
Mtunda wogwira ntchito: 0.5mm
Malo owonera zida Zowoneka: Φ0.25mm
Chithunzi: 0.13 × 0.13mm
Kukula kwa zida Zowoneka: 500 ×
Chithunzi (chowonetsedwa pakompyuta) -2500 ×
Muyezo wa Receiver: 1000X1000
Kukula kwa pixel: 5.2 × 5.2µm
Nthawi yoyezera sampuli (kujambula) nthawi: 1S
Chida muyeso galasi reflectivity (mkulu): ~50%
Kuwonetsetsa (otsika): ~4%
Gwero lowunikira: nyali ya incandescent 6V 5W
Kutalika kwa zosefera zobiriwira: λ≒530nm
Hafu m'lifupi λ≒10nm
Kukweza kwakukulu kwa microscope: 110 mm
Kukweza kwa tebulo: 5 mm
Kusiyanasiyana kwa kayendedwe ka X ndi Y: ~10 mm
Mitundu yozungulira yogwirira ntchito: 360 °
Kupendekeka kwa tebulo logwirira ntchito: ± 6 °
Makina apakompyuta: P4, 2.8G kapena kupitilira apo, 17-inch flat-screen screen yokhala ndi 1G kapena kukumbukira zambiri